EDS能谱全称是能量色散X射线光谱（英文：Energy Dispersive X-ray Spectroscopy，简称 EDS 或 EDX）。
EDS 是一种常用于材料科学、地质学、冶金学等领域的微区元素分析技术，通常与扫描电子显微镜（SEM）或透射电子显微镜（TEM）联用，通过检测样品受电子束激发后发射的特征X射线，来确定样品中所含元素的种类和相对含量。
EDS 的基本原理
当高能电子束轰击样品表面时，会激发出原子内层电子，形成空位。外层电子跃迁填补空位时，会释放出具有特定能量的X射线。EDS 探测器收集这些X射线，并根据其能量进行分类，从而识别出对应的元素。
EDS 的主要特点
- 可同时检测多种元素（通常从硼 B 到铀 U）
- 分析速度快，适合快速定性与半定量分析
- 空间分辨率高，可达微米甚至亚微米级别
- 非破坏性（对大多数样品）
典型应用场景
EDS 广泛应用于失效分析、金属夹杂物鉴定、矿物成分分析、半导体缺陷检测、生物样品元素分布研究等领域。